Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche litografiche/Litografia elettronica: shadow mask, tilted evaporation
Indice del libro
- Introduzione alla microtecnologia
- Crescita dei cristalli
- Il vuoto
- Il plasma
- Tecniche litografiche
- Film sottili
- Processi successivi
- Etching
- Esempi
- Tecniche diagnostiche
- Statistica per tecnologia