Micro e nanotecnologia
Microtecnologia modifica
Introduzione alla microtecnologia modifica
- Il transistor e i dispositivi integrati
- La legge di Moore
- Microtecnologia: concetti di base
- L'ambiente: la camera pulita
Crescita dei cristalli modifica
Il vuoto modifica
Il plasma modifica
Tecniche litografiche modifica
Film sottili modifica
- Chemical Vapor Deposition (CVD)
- Sputtering
- Evaporazione
- Deposizione con cannone elettronico
- Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Deposizione di film dielettrici
- Film metallici
Processi successivi modifica
Etching modifica
Esempi modifica
Tecniche diagnostiche modifica
Statistica per tecnologia modifica
Nanotecnologia modifica
Introduzione alla nanotecnologia modifica
Approccio top-down modifica
- Litografia elettronica: shadow mask, tilted evaporation
- Scansione a sonda (scanning probe)
- Stampa (nanoprint)
Approccio bottom-up modifica