Micro e nanotecnologia
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MicrotecnologiaModifica
Introduzione alla microtecnologiaModifica
- Il transistor e i dispositivi integrati
- La legge di Moore
- Microtecnologia: concetti di base
- L'ambiente: la camera pulita
Crescita dei cristalliModifica
Il vuotoModifica
Il plasmaModifica
Tecniche litograficheModifica
Film sottiliModifica
- Chemical Vapor Deposition (CVD)
- Sputtering
- Evaporazione
- Deposizione con cannone elettronico
- Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Deposizione di film dielettrici
- Film metallici
Processi successiviModifica
EtchingModifica
EsempiModifica
Tecniche diagnosticheModifica
Statistica per tecnologiaModifica
NanotecnologiaModifica
Introduzione alla nanotecnologiaModifica
Approccio top-downModifica
- Litografia elettronica: shadow mask, tilted evaporation
- Scansione a sonda (scanning probe)
- Stampa (nanoprint)
Approccio bottom-upModifica