Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il plasma/Proprietà generali: differenze tra le versioni

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Tale processo è noto sotto il nome di [[w:Ionizzazione_di_Penning|Ionizzazione di Penning]].
==Processi inversi==
Molti dei processi descritti hanno un processo inverso che stabilisce un equilibrio dinamico. Alla ionizzazione si contrappone la ricombinazione che però è inibita all'interno del plasma, infatti nel processo di ricombinazione un elettrone dovrebbe riunirsi con uno ione positivo formando una specie neutra, ma un processo di questo genere deve rispettare le regole di conservazione della quentitàquantità di moto e dell'energia, un semplice calcolo mostra come non sia possibile rispettare tali condizioni, per cui il processo di ricombinazione ha bisogno di un terzo corpo, che sarà una altra molecola di gas se la densità del gas è elevata o più probabilmente le superfici della camera. La ricombinazione quindi avviene, ma con una frequenza minore di quella che ci aspetterebbe, mantenendo elevato il grado di ionizzazione del plasma.
 
Gli atomi eccitati, tendono invece a ritornare in tempi più o meno rapidi (da frazioni di ns a s) nello stato fondamentale, emettendo un fotone di frequenza tale, che la sua energia sia pari esattamente alla differenza di energia tra l'atomo eccitato e quello stabile:
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Le lampade a scarica luminosa hanno una colorazione che dipende dalla frequenza della luce emessa
come mostrato nella immagine precendenteprecedente.
 
Infine la ricombinazione dei radicali avviene in genere sulle pareti e viene sfruttata per i processi chimici mediante plasmi, genericamente indicati come Reactive Ion Etching.
 
==Temperatura delle componenti di un plasma==
I cammini liberi medi degli elettroni, gli ioni e le molecole (o i radicali) non sono molto differenti. Ma mentre i frequenti urti elastici degli atomi neutri e le molecole sono un efficiente meccanismo di termalizzazione, per gli elettroni la cosa è differente. Quindi i campi elettrici presenti localmente nel plasma aumentano di poco l'energia cinetica media degli ioni. Al contrario l'energia cinetica media degli elettroni supera facilmente i 2 eV. Anche se un plasma non è propriamente un sistema all'equilibrio termodinamico, si indica l'energia cinetica media mediante una temperatura equivalente, quindi se il gas neutro ha una temperatura di 300 K, gli ioni hanno una temperatura di 500 K e il gas di elettroni supera facilmente la temperatura di 23000 K.