Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche litografiche/Litografia a fascio ionico: differenze tra le versioni
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La IPL, tuttavia, presenta anche alcuni svantaggi:
* le sorgenti di ioni non sono facilmente reperibili. Di solito si ricorre al gallio (fonde circa a 30°) che viene fatto evaporare ed, in seguito, ionizzato
* risulta difficile ottenere delle buone lenti magnetiche per gli ioni. Il fascio di ioni è difficile da deviare in quanto essi presentano una grande massa, quindi, sono molto pesanti.
* le maschere da utilizzare per la IPL sono molto complesse e quindi di difficile realizzazione (in particolare tali maschere vengono fatte attraverso EBL)
* è una tecnica molto lenta rispetto alla litografia ottica
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