Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il vuoto/Strumenti di misura per il vuoto: differenze tra le versioni

Nella pratica comune sono poco utilizzati poichepoichè sono poco pratici. I manometri a

Attualmente i manometri capacitivi a diaframma rappresentano gli strumenti più precisi, più diffusi anche se il loro costo non sia trascurabile. Il principio di fuzionamento eè semplice un diaframma sottile divide due regioni in una vi è il vuoto di referimento e nell'altro il vuoto da misurare,

un elettrodo fisso è posto a piccola distanza dal diaframma stesso, ma non in contatto. La deformazione del diaframma genera una variazione di capacità che può essere facilmente misurata. QuestoQuesti tipotipi di strumenti riescono ad essere utilizzati per 3 decadi di vuoto arrivando fino a <math>10^{-4}\ Torr\ </math>.

Per quanto infine riguarda il medio vuoto vi è da aggiungere che sono molto utilizzati i manometri a conducibilità termica, in genere meno precisi ma economici. Tali strumenti non funzionano nel basso vuoto.

Infatti la [[w:Teoria_cinetica_dei_gas|teoria cinetica dei gas]] prevede che la [[w:Conducibilit%C3%A0_termica|conducibilità termica dei gas]] sia indipendente dalla pressione, quindie sperimentalmente tra 760 Torr e 50 Torr si trova che la conducibilità termica è abbastanza indipendente dalla presisonepressione. A
Ma a pressione più bassa questa cosa non è più vera. Infatti quando il cammino libero medio diventa più grande della distanza tra due opposte superfici, una calda ed una fredda, la conduzionde di calore dalla superficie calda quella fredda dipende linearmente dalla temperatura. Tale effetto vineviene utilizzato in molti strumenti da vuoto nelche funzionano in regime di medio vuoto. In genere si utilizzano uno o più filamenti riscladatiriscaldati elettricamente e la temeperaturatemperatura di equilibrio dipende sia dall'energia elettrica fornita eche da quella dissipata sulle pareti che lo circondano. La [[w:Emissivit%C3%A0|emissività]] del filamento è un effetto indesiderato che viene minimizzato usando materiali a relativamente bassa emissività. La temperatura del filamento viene misurata o direttamente mediante una termocoppia