Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche litografiche/Litografia ottica: differenze tra le versioni
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[[File:Step Fotolitografia.jpg|thumb|510px|left|Passi del processo di fotolitografia]]
Se il controllo da esito positivo la fetta (''wafer'') può continuare i processi successivi che potrebbe essere quello di impiantazione ionica, attacco, diffusione eccetera; a volte se il processo litografico viene giudicato non adeguato
=== Pulizia ===
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