Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili/Evaporazione: differenze tra le versioni
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La temperatura a cui bisogna portare il materiale da evaporare dipende dal suo diagramma di fase,
in genere la temperatura tipica è quella per cui la tensione di vapore è di circa 1-10 Pa. Con tale tecnica si evaporano materiali (in genere con bassa temperatura di fusione) come l'alluminio, l'oro, l'argento, il palladio, il nichel, lo stagno, il piombo o l'indio. Ma già materiali come il cromo o il Platino vengono evaporati con difficoltà
Il metodo tipico con cui si evaporano i metalli è facendo passare una corrente molto intensa attraverso un metallo refrattario che contiene il materiale da evaporare (un crogiolo o un filamento ad esempio di Tungsteno o Molibdeno). Il riscaldamento avviene per effetto Joule, vi è la possibilita che vi siano contaminazioni dovute al filamento, inoltre la dimensione limitata del filamento limita lo spessore di materiale da evaporare. In pratica ad ogni evaporazione bisogna riaprire il sistema da vuoto e aggiungere nuovo materiale da evaporare nella sorgente.
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