Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il vuoto/Strumenti di misura per il vuoto: differenze tra le versioni
Contenuto cancellato Contenuto aggiunto
ortografia |
ortografia |
||
Riga 90:
La relazione lineare tra corrente e pressione inferiori a 10<sup>−3</sup> Torr non è più valida, in quanto la elevata frequenza di collisioni, non permette agli elettroni di raggiungere energie cinetiche sufficienti a ionizzare il mezzo.
A pressioni estremamente basse invece vi è un altro effetto connesso con la generazione di [[w:Raggi X|raggi X]] molli da parte degli elettroni che urtano la griglia, infatti quando il vuoto è alto gli elettroni bombardano la griglia con una energia di circa 150 eV, producendo raggi X che colpiscono il catodo ed estraendo elettroni secondari da esso. Tale corrente elettronica non è distinguibile dalla corrente di ioni raccolti
Negli strumenti moderni per ovviare tale problema si usa lo schema di Bayard-Alpert in cui si è invertita la posizione del catodo e del filamento. Rendendo il catodo estremamente piccolo al centro della griglia in questo caso la probabilità che i raggi X generino elettroni secondari è estremamente ridotta e strumenti di questo genere riescono a misurare fino a vuoti di 10<sup>−10</sup> Torr.
| |||