Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili: differenze tra le versioni

In questo caso un fluido precursore subisce un cambiamento chimico quando viene in contatto con la superficie di un solido. Un esempio dalla vita di tutti i giorni è la formazione di [[w:fuliggine|fuliggine]] su un oggetto freddo posto dentro una fiamma. PoichèPoiché il fluido circonda il solido, la deposizione avviene su tutte le superfici, con una dipendenza trascurabile dalla direzione del solido. Quindi i film sottili prodotti mediante tale tecnica tendono a ricoprire uniformemente le superfici: si parla in genere di deposizione conforme che quindi tende a ricoprire anche gli spigoli vivi presenti nel solido sottostante, il contrario della deposizione conforme è quella direzionale che difficilmente si riesce ad ottenere nella deposizione chimica.

Il materiale che deve essere depositato è posto in una regione della camera da vuoto (sorgente) ed a causa dell'elevata energia acquistata le particelle fuoriescono dalla superficie della sorgente. Di fronte alla sorgente vi è il substrato che raffredda le particelle che la bombardano, permettendo la formazione di uno strato solido. Il sistema è mantenuto all'interno di una camera da vuoto per non contaminare il film da depositare e permettere alle particelle da depositare di viaggiare liberamente dalla sorgente al substrato. PoichèPoiché la traiettoria delle particelle è in genere una linea retta, il film depositato tende ad essere non conforme, cioè le zone in ombra non vengono ricoperte: questa è una differenza sostanziale dalla deposizione chimica.