Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il vuoto/Strumenti di misura per il vuoto: differenze tra le versioni
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A pressioni estremamente basse invece vi è un altro effetto connesso con la generazione di [[w:Raggi X|raggi X]] molli da parte degli elettroni che urtano la griglia, infatti quando il vuoto è alto gli elettroni bombardano la griglia con una energia di circa 150 eV, producendo raggi X che colpiscono il catodo ed estraendo elettroni secondari da esso. Tale corrente elettronica non è distinguibile dalla corrente di ioni raccolti ed ad un vuoto di 10<sup>−8</sup> Torr eguaglia la corrente ionica.
Negli strumenti moderni per ovviare tale problema si usa lo schema di Bayard-Alpert in cui si è invertita la posizione del catodo e del filamento. Rendendo il catodo
Vi è da aggiungere che lo stesso risultato di diminuire l'effetto dei raggi X si ottiene allungando
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