Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche litografiche/Litografia ottica: differenze tra le versioni

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Corretto: "superficie"
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-Resina (10%): costituita da vari polimeri organici, solitamente novalac.
 
-Componente Fotosensibile (5%) : che viene denomitodenominato con l'acronimo PAC:Photo Active Compound
 
-Solvente (85%)
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Vi è da aggiungere che nel caso di DUV non è sufficiente che ogni fotone produca una singola reazione chimica, in quanto l'intensità delle sorgenti luminose è bassa e quindi si allungherebbe eccessivamente il tempo di esposizione. Per questa ragione si usano tecniche di amplificazione chimica. In questo caso vengono aggiunti al resist delle sostanze che generano ioni idrogeno in presenza di radiazione DUV (Photo Acid Generator: acronimo PAG). Quindi un fotone genera un ione idrogeno, tale ione mediante amplificazione termica provoca una reazione chimica, in maniera tale che da un singolo fotone si producono molte reazioni chimiche, amplificando quindi l'effetto
di ogni singolo fotone.
 
 
== Lastre ==