Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il vuoto/Strumenti di misura per il vuoto: differenze tra le versioni
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=== Manometri capacitivi===
Attualmente i manometri capacitivi a diaframma rappresentano gli strumenti più precisi e più diffusi benché il loro costo non sia trascurabile. Il principio di
un elettrodo fisso è posto a piccola distanza dal diaframma stesso, ma non in contatto. La deformazione del diaframma genera una variazione di capacità che può essere facilmente misurata. Questi tipi di strumenti riescono ad essere utilizzati per 3 decadi di vuoto arrivando fino a <math>10^{-4}\ Torr\ </math>.
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