Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il vuoto/Pompe da vuoto: differenze tra le versioni
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Il primo tipo di queste pompe viene chiamato spesso a trasferimento di quantità di moto, le molecole del gas sono trascinate dal lato sotto vuoto al lato di scarico (che è mantenuto a pressione inferiore a quella atmosferica da una pompa primaria) mediante il trasferimento di impulso che agisce singolarmente sulle molecole del gas. Questa modalità di pompaggio è possibile solo al di sotto qualche mbar, cioè in condizioni di vuoto molecolare. La velocità di aspirazione di una pompa cinetica è spesso ordini di grandezza maggiore di una pompa primaria, ma lavorando a pressioni inferiori la quantità di materia asportata è in realtà generalmente bassa. Il problema principale del regime di lavoro è il flusso indietro (''backstreaming'') sempre presente. Non esiste, a causa del meccanismo di funzionamento, nessun tipo di ostacolo (valvola), se non la dinamica di aspirazione tra il vuoto e lo scarico. Le pompe a trasferimento di quantità di moto sono più efficaci per alcuni gas che per altri. A causa di tale selettività la composizione del gas residuo nella camera da vuoto è diversa dalla composizione dei gas di partenza.
Le pompe in regime molecolare agiscono su una
fine di avere una alta velocità di pompaggio. Non vi è nessuna guarnizione tra l'uscita e l'ingresso. Quindi una piccola pressione sull'uscita può facilmente risalire indietro attraverso la pompa. A causa di un fenomeno di questo tipo la pompa va in blocco. In alto vuoto. tuttavia,
gradienti di pressione hanno scarso effetto e le pompe molecolari possono avere la piena funzionalità.
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