Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il vuoto/Strumenti di misura per il vuoto: differenze tra le versioni
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Un campo magnetico perpendicolare alle armature confina il plasma imponendo agli elettroni un cammino a spirale, la traiettoria degli ioni positivi non viene modificata dal campo magnetico a causa della piccola massa. La corrente di scarica data dalla combinazione della corrente degli ioni positivi e degli elettroni emessi è proporzionale alla pressione. Il principale vantaggio di questo strumento è l'assenza di un filamento caldo.
Questi strumenti non possono lavorare se il cammino libero medio degli elettroni e degli ioni diventano troppo piccoli. Di conseguenza il limite superiore per la pressione di lavoro è 10<sup>−3</sup> Torr. Dall'altra parte se il vuoto è troppo elevato è difficile che la scarica riesca ad innescarsi ad un vuoto troppo alto.
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