Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Crescita dei cristalli: differenze tra le versioni
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Attraverso un trattamento con acido cloridico in forma gassosa, si arriva alla formazione di triclorosilano (SiHCl<sub>3</sub>).
Si + 3HCl -----> SiHCl<sub>3</sub> +
Alla fine, si ha la purificazione del triclorosilano e la formazione di silicio policristallino di grado elettronico.
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