Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche litografiche/Litografia ottica: differenze tra le versioni

{{cn|Il passo successivo è un risciacquo in acqua deionizzata, cioè con una presenza trascurabile di ioni e quindi con elevata resistività. L'acqua deionizzata viene utilizzata in molte fasi dei processi di microtecnologia; in genere per evitare contaminazioni viene prodotta in loco con un apparecchio di deionizzazione quasi sempre presente nelle camere pulite usate per microtecnologie<ref>senza fonte</ref>}}.