Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili/Deposizione con cannone elettronico: differenze tra le versioni

Lo schema di funzionamento è mostrato nella figura accanto. Il funzionamento è il seguente un filamento caldo genera una grande corrente elettronica, anche qualche Ampère, il fascio viene accelerato tra il filamento e l'anodo ad una elevata tensione (tra 3 KV e i 30 KV). Il fascio di elettroni viene solitamente deviato di 270°, mediante un opportuno campo magnetico, in maniera da evitare che il filamento che emette gli elettroni sia ricoperto con il materiale da evaporare. Il crogiolo in cui è contenuto il materiale da evaporare è in genere di [[w:grafite|grafite]] che è il materiale conosciuto con la più alta temperatura di fusione. A sua volta iil crogiolo di grafite è contenuto in un dissipatore di calore di rame. Gli elettroni incidenti dissipano così la loro energia cinetica nel materiale e ne provocano il riscaldamento e la successiva evaporazione.

Con questa tecnica si riescono a raggiungere maggiori velocità di crescita che con l'evaporazione termica, inoltre i film sono meno contaminati che nel caso della evaporazione termica. Infatti il materiale da evaporare fonde localmente e i crogioli si mantengono ad una temperatura relativamente bassa.

In genere il substrato e la sorgente sono poste ad una distanza di varie decine di cm. Per cui una frazione trascurabile del materiale evaporato finisce sul substrato. Quindi a differenza della tecnica di sputtering vi è un notevole spreco di materiale, questo rende la tecnica poco utilizzabile nei processi industrialeindustriali su larga scala in cui il costo del materiale evaporato rappresenta una voce importante.