Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il plasma/Proprietà generali: differenze tra le versioni

Molti dei processi descritti hanno un processo inverso che stabilisce un equilibrio dinamico. Alla ionizzazione si contrappone la ricombinazione che però è inibita all'interno del plasma, infatti nel processo di ricombinazione un elettrone dovrebbe riunirsi con uno ione positivo formando una specie neutra, ma un processo di questo genere deve rispettare le regole di conservazione della quantità di moto e dell'energia, un semplice calcolo mostra come non sia possibile rispettare tali condizioni, per cui il processo di ricombinazione ha bisogno di un terzo corpo, che sarà una altra molecola di gas se la densità del gas è elevata o più probabilmente le superfici della camera. La ricombinazione quindi avviene, ma con una frequenza minore di quella che ci si aspetterebbe, mantenendo elevato il grado di ionizzazione del plasma.