Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il vuoto/Le leggi del vuoto: differenze tra le versioni

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In un sistema da vuoto vari processi concorrono alla creazione del carico <math>Q\ </math>. Se il sistema si trova ad una pressione prossima a quella atmosferica per portarlo sotto vuoto è proprio il gas aspirato che concorre al carico. In genere fino a pressioni dell'ordine del Pascal questa è la causa principale di carico, cioè il gas contenuto nella camera da vuoto che viene rimosso via via. Al diminuire della pressione vi sono altre cause che aumentano il carico, principalmente il degassamento delle pareti e l'evaporazione dei materiali ad elevata tensione di vapore. Il carico dovuto alla tensione di vapore viene spiegato dal principio dell'equilibrio mobile di [[w:Principio_di_Le_Châtelier|Le Chatelier-Braun]], che stabilisce che variando uno dei parametri che caratterizzano un sistema all'equilibrio, il sistema reagisce nella direzione che si oppone al disturbo. Nel caso trattato del sistema da vuoto, si ha che aspirando con la pompa si provoca diminuzione di pressione nella camera da vuoto, il sistema si oppone al disturbo facendo evaporare i materiali che sono presenti sulle superfici di quest'ultima, e quindi tenta di riportare la pressione al valore precedente il disturbo (causato dalla pompa). Il degassamento che rappresenta un problema molto importante è trattato a parte nel seguito. Tra le concause che concorrono al carico vi sono anche i processi tecnologici che avvengono nella camera da vuoto ad esempio per la crescita di film termico viene fuso un materiale e portato ad una temperatura tale che la sua tensione di vapore sia una valore sufficientemente elevato.
 
Se infine nel sistema da vuoto vi sono perdite verso la pressione esterna, tali perdite rappresentano una ulteriore componente del carico che deve essere aspirato dal sistema per mantenerlo sotto vuoto. La localizzazione di eventuali perdite verso l'esterno è un problema importante negli impianti da vuoto. Esistono degli strumenti opportuni chiamati ''cercafughe'' (in inglese ''leak detectors'') che utilizzano la combinazione della [[w:Spettrometria_di_massa|spettrometria di massa]] e un gas raro nell'atmosfera, ma con elevata [[w:Permeabilità|permeabilità]] quali l'[[w:Elio|Elio]] per trovare le perdite presenti se molte piccole. Perdite grandi si trovano sia mettendo sotto lieve pressione il sistema ed utilizzando acqua saponata (una tecnica simile a quella usata per la riparazione dleledelle camere d'aria) o utlizzandoutilizzando gli strumenti da vuoto che variano la loro risposta con la composizione dei gas, in genere si usano sostanze organiche quali [[w:Acetone|acetone]] e [[w:Alcool_isopropilico|alcol isopropilico]].
 
===Degassamento===