Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili/Deposizione con cannone elettronico: differenze tra le versioni

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{{Micro e nanotecnologia}}
[[File:Electron-beam_evaporator.png|thumb|left|300px|Schema di un cannone elettronico]]
Lo schema di funzionamento è mostrato nella figura accanto. Il funzionamento è il seguente un filamento caldo genera una grande corrente elettronica, anche qualche Ampère, il fascio viene accelerato tra il filamento e l'anodo ad una elevata tensione (tra 3 KV e i 30 KV). Il fascio di elettroni viene solitamente deviato di 270°, mediante un opportuno campo magnetico, in maniera da evitare che il filamento che emette gli elettroni sia ricoperto con il materiale da evaporare. Il crogiolo in cui è contenuto il materiale da evaporare è in genere di [[w:grafite]] che è il materiale conosciuto con la più alta temperatura di fusione. A sua volta i crogiolo di grafite è contenuto in un dissipatore di calore di rame. Gli elettroni incidenti dissipano così la loro energia cinetica nel materiale e ne provocano il riscaldamento e la successiva evaporazione.
Il dissipatore di calore di rame è attraversato al suo interno da un flusso di acqua.