Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili/Evaporazione: differenze tra le versioni
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La tecnica di deposizione fisica da fase vapore (detta '''Physical Vapor Deposition''') di film sottili mediante evaporazione termica è una dei processi più antichi di deposizione.
Il materiale viene riscaldato sotto vuoto e o [[w:Sublimazione|sublima]] o [[w:Evaporazione|evapora]]. Da semplici considerazioni termodinamiche segue che il flusso <math>F\ </math> uscente dalla sorgente, cioè il numero di molecole che escono per unità di superfice e di tempo, dipende in maniera esponenziale dalla [[w:Energia_di_attivazione|energia di attivazione]] della relativa trasformazione di fase coinvolta (evaporazione o sublimazione) secondo la legge:
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