La possibilità di proiettare una un'immagine precisa di un piccolo particolare è limitata dalla lunghezza d'onda della luce usata e dalla capacità del sistema di lenti che riducono l'immagine della fotomaschera di avere pochi problemi di diffrazione. La lampada al mercurio (lunghezza d'onda 365 nm), è oggigiorno largamente utilizzata nei sistemi di proiezione a causa della sua elevata intensità ed affidabilità. Questo tipo di litografia che utilizza la lampada a mercurio è denominata I-Line e può offrire una risoluzione di 0.3 nm. I sistemi di esposizione più avanzati usano invece dispositivi DUV (''deep ultraviolet''), ovvero dei laser ad eccimeri (KrF o ArF, con lunghezze d'onda rispettivamente di 248 nm e 193 nm) attraverso i quali si raggiungono risoluzione di 0.18 e 0.10 μm rispettivamente.
Infatti illuminando un reticolo periodico con luce incidente parallelamente alla normale del reticolo, la luce uscente dal reticolo, a causa della diffrazione, non avrà le stesse componenti della luce incidente bensì ci saranno anche componenti di ordine superiore. Per poter riprodurre una immagine si dimostra che devono essere raccolti dalla lente almeno gli ordini numero 0, 1, -1.
