Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Introduzione alla microtecnologia/L'ambiente: la camera pulita: differenze tra le versioni
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I processi di micro e nanofabbricazione avvengono in ambienti dalle caratteristiche particolari, detti "camere pulite", che contengono gli impianti per la fabbricazione e la diagnostica dei dispositivi in fase di lavorazione, e in cui gli operatori entrano per controllare e avviare i processi. Nella camera pulita la temperatura e l’umidità sono accuratamente regolate in modo che i processi siano ben controllabili e riproducibili, ma la caratteristica più importante è il controllo sul numero e sulla dimensione delle particelle di polvere presenti nell'atmosfera, da cui viene appunto il nome "camera pulita".
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! oggetto || dimensioni approssimative
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| granelli di [http://it.wikipedia.org/wiki/Sabbia sabbia]|| 2 mm ÷ 60 μm
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| diametro capelli umani||95 ÷ 45 μm
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| batteri||30 ÷ 1 μm
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| globulo rosso||7 μm
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| fumo di tabacco|| 1μm ÷10 nm
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| virus|| 40 ÷ 3 nm
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| fullerene (C60)|| 1 nm
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| atomo|| 0.3 ÷ 0.2 nm
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Nell'aria normale sono presenti in media un milione di particelle con diametro superiore a 100 nm in un volume pari a un piede cubo (33x33x33 cm<sup>3</sup>; si usano per tradizione le unità di misura americane). Queste particelle possono facilmente interferire con processi di fabbricazione in cui la risoluzione tipica è dello stesso ordine di grandezza, quindi bisogna ridurne il numero filtrando opportunamente l'aria.
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Altre precauzioni vanno prese per evitare che gli operatori stessi inquinino l'atmosfera: una persona ferma genera 10<sup>5</sup> particelle per piede cubo, 10<sup>
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| cuffia|| hairnet
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| guanti||
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| maschera|| face mask
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