Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Processi successivi/Ossidazione: differenze tra le versioni
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{{Equazione|eq=<math>F_2=KC_s \ </math>|id=2}}
ove <math>K\ </math> prende il nome di velocità di reazione superficiale ed ha
In condizioni stazionarie si ha un equilibrio dinamico in cui i due flussi sono eguali:
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