Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il plasma/Proprietà generali: differenze tra le versioni

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Il processo di ionizzazione di un gas è prodotto principalmente dagli elettroni accelerati dai campi elettrici presenti nel gas, anche se vi sono altri processi di ionizzazione ad esempio la fotoionizzazione, cioè l'interazione di fotoni, particolarmente energetici, con atomi. Tale processo avviene principalmente sulle pareti della camera, piuttosto che all'interno del plasma.
Infatti essendovi una grande sproporzione tra massa degli elettroni e massa delle molecole, poichè nei processi di urto va conservata la quantità di moto oltre che deve conservarsi l'energia totale, un processo a due corpi non può permettere di soddisfare le conservazioni necessarie, sulle pareti il processo diventando a più corpi permette di soddisfare le condizioni necessarie. Anche gli ioni possono ionizzare il gas, la sezione d'urto per tali processi è di un ordine di grandezza minore cioè difficilmente si arriva sezioni d'urto di <math>10^{-22}\ m^2</math> per energia degli ioni maggiori di 500 eV, quindi questo processo è trasscurabiletrascurabile tranne che nell'inmpattoimpatto con il catodo in cui vengono prodotti elettroni secondari.
 
Notiamo inoltre che, come si evince dalle curve di sezione d'urto, sia meno frequente il fenomeno di ionizzazione dell'urto elastico, infatti nel caso dell'Argon il rapporto tra le due sezioni d'urto massime è di quasi dieci, questo significa che è più frequente un urto elastico rispetto ad un urto anelastico che produce ionizzazione.