Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Introduzione alla microtecnologia/L'ambiente: la camera pulita: differenze tra le versioni

 

Nell'aria normale sono presenti in media un milione di particelle con diametro superiore a 100 nm in un volume pari a un piede cubo (33x33x33 cm³; si usano per tradizione le unità di misura americane). Queste particelle possono facilmente interferire con processi di fabbricazione in cui la risoluzione tipica è dello stesso ordine di grandezza, quindi bisogna ridurne il numero filtrando opportunamente l'aria.

 

Altre precauzioni vanno prese per evitare che gli operatori stessi inquinino l'atmosfera: una persona ferma genera 10⁵ particelle per piede cubo, 10⁵ se cammina. Gli operatori quindi entrano nella camera pulita solo se vestiti appropriatamente con tute di fibre speciali che non producono particelle, copriscarpe, cuffia per coprire i capelli, maschere sulla bocca, guanti e a volte occhiali di protezione. Questa tenuta è detta "bunny suit" (vestito da coniglio) e la procedura di vestizione va rispettata scrupolosamente, tanto più quanto più è pulita la camera.

| occhiali di sicurezza|| safety glasses

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Una volta vestiti, si entra nella camera attraverso una cabina con due porte stagne in cui si aziona una doccia d’aria, per rimuovere particelle superficiali. Anche i materiali all'interno della camera sono speciali: la carta è una specie di panno-carta che produce poche fibre e lo stesso vale per i panni usati per pulire le superfici, le matite sono proibite (producono polvere di grafite), gli inchiostri delle penne sono speciali.