Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Processi successivi/Ossidazione: differenze tra le versioni

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L'ILD (ossido intermetallico) viene posto tra due metalli come mostrato in figura.
 
[[Image:ILD(2).jpg|thumb|left|150px|ILD|]]
 
L' Al fonde circa a 530° mentre l' ILD viene posto a circa 600°. Per deporre l' ILD non si deve naturalmente fondere l' Al e anche in questo caso la tecnica di deposizione è il PECVD.