Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Processi successivi/Ossidazione: differenze tra le versioni

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La fuidità del film aumenta con il crescere della concentrazione di Fosforo.
L’andamento dell’angolo di ricopertura (ovvero il gradino che si viene a formare quando lafluiditàla fluidità è bassa) in funzione della percentuale in peso di fosforo (wt%) può essere approssimato come:
 
 
<math>\theta=120\left(\frac{{10-wt%}}{{10}}\right)</math>