Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Processi successivi/Ossidazione: differenze tra le versioni

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Da cui si ricava <math>C_s\ </math> e sostituendo nella equazione 2 si ha:
{{Equazione|eq=<math>F=\frac{{DC_o}}{{X_{{ox}}+\frac DK}}</math>|id=5}}
Se definisco <math>C_1\ </math> è il numero di molecole della specie ossidante incorporate nell’ossido per unità di volume, il '''tasso di crescita dello spessore dello strato di ossido''' sarà:
 
<math>\frac{{\partial X_{{ox}}}}{{\partial t}}=\frac FC_1=\frac{{\frac{{DC_o}}{{C_1}}}}{{X_{{ox}}+ \frac DK}}</math>