Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il plasma/Proprietà generali: differenze tra le versioni
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{{Equazione|eq=<math>e+A->e+A^*\ </math>|}}
Come nel caso della ionizzazione esiste una energia minima per provocare un fenomeno di questo tipo, l'energia di eccitazione, ad esempio nel caso dell'Argon vale 11.6 eV, quindi un poco inferiore all'energia di ionizzazione. Si capisce la ragione in quanto per ionizzare occorre strappare un elettrone da un atomo e quindi il processo richiede una maggiore energia.
La sezione d'urto di questo processo è inferiore a quella di ionizzazione, è sempre una curva a campana che nel caso dell'Argon ha un massimo a 21 eV dove la sezione d'urto vale <math>4\cdot 10^{-21}\ m^2</math>, al di sotto di 11.6 eV è nulla (soglia del processo) ed a 100 eV la sezione d'urto è diminuita di un fattore 4 rispetto al massimo. Vi è da aggiungere che
===Dissociazione===
Il terzo processo anelastico possibile è l'interazione tra un elettrone ed una molecola (non un atomo) ed in questo urto la molecola si scinde nei suoi componenti. L'energia di legame delle molecole è in genere minore di qualche eV, quindi anche se questo è un processo a soglia è ovviamente possibile con elettroni molto meno energetici. Un esempio:
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