Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Processi successivi/Diffusione: differenze tra le versioni
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Il processo di diffusione è descrivile secondo le due leggi di fick: <math>F=-D*dC/dx</math>
nella prima si descrive il profilo di concentrazione degli ioni droganti in fuzione della distanza dal zona in cui è avvenuta l'iniezione. Il flusso degli ioni si muove in direzione delle zone meno drogate.
La seconda è una legge di continuità che lega la concentrazione spaziale con il tempo.
C è la concentrazione [cm-3 ]. F è il flusso [atomi/cm2s] . D è il coefficiente di diffusione [cm2/s] che normalmente si ritiene costante nello spazio. D è fortemente dipendente dalla temperatura. Tramite curve sperimentali è stato possibile ricavare la seguente equazione che lega il
<math>dC/dt=D d-2 C/dx-2</math>
Inponendo le seguenti condizioni al contorno
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