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Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Processi successivi/Diffusione: differenze tra le versioni

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Il processo diffusivo può essere riassunto in due fasi fondamentali:
 
#* '''''predeposizione''''' (usualmente abbreviata in predep), cioè introduzione della dose desiderata di drogante, dove la dose, che dipende dalla concentrazione di drogante, è il numero di atomi di drogante per cm<sup>2</sup>;
 
# '''''drive-in''''', o diffusione vera e propria, in cui gli atomi di drogante, introdotti durante la predeposizione, vengono diffusi all'interno del semiconduttore in modo da ottenere i profili di concentrazione previsti nel progetto.▼
 
[[File:Predeposizione.jpg|100pk]]
 
▲#* '''''drive-in''''', o diffusione vera e propria, in cui gli atomi di drogante, introdotti durante la predeposizione, vengono diffusi all'interno del semiconduttore in modo da ottenere i profili di concentrazione previsti nel progetto.
 
 
[[File:Drive-in.jpg|100pk]]
 
[[Categoria:Micro e nanotecnologia|Diffusione]]
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