Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Etching: differenze tra le versioni

All' interno delle vasche le sostanze chimiche sono tenute in costante ricircolo attraverso un sistema dotato di pompa, di filtro che va a filtrare i residui delle reazioni e di un controllo di temperatura per mantenere la temperatura desiderata.

 

 

La sostanza chimica durante la sua vita deve essere sostituita perchè accumula contaminanti provenienti dai wafer e perde le dovute concentrazioni (per evaporazione o reazione).