Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili: differenze tra le versioni
Contenuto cancellato Contenuto aggiunto
Annullata la modifica 159877 di Ramac (discussione) |
m fix |
||
Riga 2:
Film sottili sono materiali sottili che vanno da frazioni di nanometri a parecchi µm in spessore. I dispositivi a semiconduttori e la copertura di lenti sono le principali applicazioni di tali tecniche.
L'azione di applicare un film sottile su una superficie è chiamata deposizione di film sottile. In genere con tale nome si indica sia la deposizione di un film sottile di materiale su un substrato o su uno strato precedentemente depositato. Sottile è un termine relativo, ma la maggior parte delle tecniche di deposizione permettono il controllo dello spessore dello strato con una precisione pochi ''nm'', nella tecnica di [[w:Epitassia_di_fasci_molecolari|MBE]] è possibile avere un controlli sui singoli atomi depositati.▼
▲In genere con tale nome si indica sia la deposizione di un film sottile di materiale su un substrato o su uno strato precedentemente depositato. Sottile è un termine relativo, ma la maggior parte delle tecniche di deposizione permettono il controllo dello spessore dello strato con una precisione pochi ''nm'', nella tecnica di [[w:Epitassia_di_fasci_molecolari|MBE]] è possibile avere
Esistono due metodologie generali di deposizione di film sottili: la deposizione fisica da fase vapore (''Physical vapor deposition'': PVD) e la deposizione chimica da fase vapore (''Chemical Vapor Deposition'': CVD).
=== Elettromigrazione ===
L'
=== Metallizzazione ===
Fino a poco tempo fa le metallizzazioni erano fatte di alluminio, ma piano piano si sta passando a utilizzare il rame: questo cambio di tendenza è dovuto allo sforzo che si sta facendo per aumentare il livello di integrazione. Questo porta ad una diminuzione delle dimenzioni del dispositivo e le conseguenze più immediate sono:
* Aumento delle resistenze della linea;
Line 21 ⟶ 16:
* Aumento della densità di corrente nella linea;
Poichè la resistività è più bassa e l'energia di attivazione(che è direttamente proporzionale al tempo medio in cui si verifica all'elettromigrazione)è più alta(e a noi fa comodo perchè più questo tempo aumenta meno si verifica l'elettromigrazione) nel rame rispetto all'alluminio allora il primo è un candidato per l'utilizzo.▼
Ci sono anche alcuni svantaggi:▼
▲Questo fenomeno è schematizzabile come un circuito RC che introduce un ritardo che è dato dal prodotto RC. Dobbiamo quindi ridurre la resistività della linea e ridurre il più possible il fenomeno dell' elettromigrazione. Poichè la resistività è più bassa e l'energia di attivazione(che è direttamente proporzionale al tempo medio in cui si verifica all'elettromigrazione)è più alta(e a noi fa comodo perchè più questo tempo aumenta meno si verifica l'elettromigrazione) nel rame rispetto all'alluminio allora il primo è un candidato per l'utilizzo.
* Minor propenzione alla passivazione,esponibile a fenomeni di corrosione.▼
Questo avviene perchè l'alluminio ha un più basso valore del potenziale redox, mentre nel rame è più alto e quindi non avviene la passivazione.Questo potenziale non è abbastanza alto e quindi è soggetto a corrosione.▼
▲Ci sono anche alcuni svantaggi:
* elevata diffusività nel silicio e suoi ossidi. ▼
Questo complica un po il processo, infatti per evitare che il rame si diffonda nel silicio si aplica una barriera attorno al rame di Ta.▼
▲:Questo avviene perchè l'alluminio ha un più basso valore del potenziale redox, mentre nel rame è più alto e quindi non avviene la passivazione.Questo potenziale non è abbastanza alto e quindi è soggetto a corrosione.
▲:Questo complica un po il processo, infatti per evitare che il rame si diffonda nel silicio si aplica una barriera attorno al rame di Ta.
▲*I suoi Grani cambiano nel tempo.
=== Damascene ===
Il rame non forma composti volatili ed è quindi difficile da asportare. Non posso usare il metodo dell'alluminio illustrato in figura1.[[File:sottrat.jpg|250px|thumb|left|Fig.1:Deposizione alluminio]]Questo metodo viene effettuato asportando l'alluminio , successivamente viene posto l'ossido e infine viene asportato il materiale in eccesso.
Il metodo che invece andiamo ora a descrivere prende il nome di "
Iterando il procedimento per più strati si ha il Dual Damascene.
Line 48 ⟶ 39:
* deposizione di un film sottile(PVD)
* deposizione con la tecnica dell'elettroplating.
La tecnica dell'
avremo che la soluzione sarà elettricamente positiva e il metallo elettricamente negativo.Sotto l'azione di una differenza di potenziale questi ioni sono portati ad andare dall'anodo al catodo. Arrivati al catodo gli ioni si ricombinano e si depositano sul wafer secondo la relazione: <math>Cu^2 +2e^-</math>--> <math>Cu^0</math>. Quindi, sull'anodo il rame si ossida e sul wafer si riduce.▼
▲
[[Categoria:Micro e nanotecnologia|Film sottili]]
|