Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili: differenze tra le versioni
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=== Damascene ===
Il rame non forma composti volatili ed è quindi difficile da asportare.
Non posso usare il metodo in figura.[[File:sottrat.jpg|900px|thumb|right|Deposizione alluminio]]
=== Elettroplating ===
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