Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili/Sputtering: differenze tra le versioni

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===Catodi ''magnetron''===
[[File:01_DC_Sputtering_Magnetron.png|left|thumb|400px|DC Sputtering Magnetron]]
 
Per aumentare la probabilità di ionizzazione del gas sono stati sviluppati dei catodi contenenti dei magneti permanenti ( volte elettromagneti) che permettono di confinare gli elettroni in uno spazio ristretto e spiralizzandoli aumentano la possibilità di collisioni col gas.