Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Processi successivi/Ossidazione: differenze tra le versioni

Inoltre nell' estremità del tubo dove vengono inserite le fette, si mantiene un flusso di aria filtrata così si riduce la quantità di particelle presenti nell' aria in modo da minimizzare le contaminazioni delle fette.

 

 

 

Sappiamo che gli ossidi cresciuti in ossigeno hanno le proprietà elettriche migliori ma crescere un certo spessore di ossido ad una data temperatura in ossigeno richiede un tempo superiore di quanto non sia necessario in vapor acqueo.

Quindi per una data temperatura e un dato tempo, il film di ossido ottenuto per via umida è più spesso di quello ottenuto per via secca.

 

 

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