Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche litografiche/Litografia ottica: differenze tra le versioni

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La fotoligrafia ottica è un processo usato per rimuovere selettivamente parti di un film sottile o
parti del substrato. Viene usata luce per trasferire un disegno geometrico da una foto-maschera, una lastra di generalmente quarzo con zone di trasparenza e di opacità in corrispondenza del disegno geometrico da riprodurre, ad un sostanza chimica sensibile alla luce ([[w:Photoresit|fotoresist]]
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