Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il vuoto/Strumenti di misura per il vuoto: differenze tra le versioni
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:'''Intervallo di pressioni''': 10<sup>-10</sup> - 10<sup>-3</sup> Torr (circa 10<sup>-8</sup> - 10<sup>-1</sup> Pa)
Al di sotto dei 10<sup>
elettroni con energie maggiori della energia di ionizzazione del gas residuo presente: per dare
una idea 50 eV
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Questi strumenti non possono lavorare se il cammino libero medio degli elettroni e degli ioni diventano troppo piccoli. Di conseguenza il limite superiore per la pressione di lavoro è 10<sup>−3</sup> Torr. Dall'altra parte se il vuoto è troppo elevato è difficile che la scarica riesca ad innescarsi ad un vuoto troppo alto
= Bibliografia =
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