Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Il vuoto/Strumenti di misura per il vuoto: differenze tra le versioni

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:'''Intervallo di pressioni''': 10<sup>-10</sup> - 10<sup>-3</sup> Torr (circa 10<sup>-8</sup> - 10<sup>-1</sup> Pa)
 
Al di sotto dei 10<sup>o-3</sup>. Torr tutte le misure di pressione sono basate sul fenomeno della ionizzazione residua dei gas. I metodi usati nell'intervallo di pressione precedente (vuoto medio) sono assolutamente inefficienti per queste pressioni. Per ionizzare il gas debbono essere introdotti
elettroni con energie maggiori della energia di ionizzazione del gas residuo presente: per dare
una idea 50 eV
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Questi strumenti non possono lavorare se il cammino libero medio degli elettroni e degli ioni diventano troppo piccoli. Di conseguenza il limite superiore per la pressione di lavoro è 10<sup>&minus;3</sup> Torr. Dall'altra parte se il vuoto è troppo elevato è difficile che la scarica riesca ad innescarsi ad un vuoto troppo alto
 
 
 
= Bibliografia =